主要用途
半导体与微电子行业
硅片蚀刻:25% TMAH溶液是重要的硅蚀刻剂,可精确控制硅的蚀刻速率和方向(各向异性蚀刻),尤其适用于制造MEMS(微机电系统)、传感器等器件中的微结构(如硅柱、硅膜)。其优势在于对SiO₂和Si₃N₄的腐蚀速率低,便于通过这些材料作为掩膜实现选择性蚀刻。
光刻胶剥离:在芯片制造的光刻工艺后,TMAH溶液可用于去除残留的光刻胶(有机聚合物),因其碱性可分解光刻胶成分,且对金属层(如铝、铜)的腐蚀性较低。
有机合成与化学分析
作为强碱试剂,用于实验室中的有机合成反应(如制备烯烃、炔烃),或作为滴定分析中的标准碱溶液(需用邻苯二甲酸氢钾等基准物质标定)。在色谱分析中,可作为流动相的添加剂(如离子色谱),调节溶液pH值或增强离子化效率。
其他应用
表面处理:用于金属表面的除油、除锈(通过碱性条件皂化油脂),或作为清洁剂去除玻璃、陶瓷表面的有机物残留。
纺织工业:作为印染过程中的pH调节剂或催化剂,促进染料与纤维的结合。
品名: | 四甲基氢氧化铵 |
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用途: | 暂无数据 |
别名 | 氧化四甲铵;氢氧化四甲基胺 |
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