四甲基氢氧化铵


  • 产品类别:
    中间体
  • 英文名称:
    Tetramethylammonium hydroxide
  • CAS NO:
    75-59-2
  • 分 子 量:
    91.15
  • EC NO:
    200-882-9
  • 规    格:
    TMAH25%四甲基氢氧化铵
  • 包    装:
    25kg
  • 结 构 式:
    四甲基氢氧化铵 75-59-2

  主要用途

  半导体与微电子行业

  硅片蚀刻:25% TMAH溶液是重要的硅蚀刻剂,可精确控制硅的蚀刻速率和方向(各向异性蚀刻),尤其适用于制造MEMS(微机电系统)、传感器等器件中的微结构(如硅柱、硅膜)。其优势在于对SiO₂和Si₃N₄的腐蚀速率低,便于通过这些材料作为掩膜实现选择性蚀刻。

  光刻胶剥离:在芯片制造的光刻工艺后,TMAH溶液可用于去除残留的光刻胶(有机聚合物),因其碱性可分解光刻胶成分,且对金属层(如铝、铜)的腐蚀性较低。

  有机合成与化学分析

  作为强碱试剂,用于实验室中的有机合成反应(如制备烯烃、炔烃),或作为滴定分析中的标准碱溶液(需用邻苯二甲酸氢钾等基准物质标定)。在色谱分析中,可作为流动相的添加剂(如离子色谱),调节溶液pH值或增强离子化效率。

  其他应用

  表面处理:用于金属表面的除油、除锈(通过碱性条件皂化油脂),或作为清洁剂去除玻璃、陶瓷表面的有机物残留。

  纺织工业:作为印染过程中的pH调节剂或催化剂,促进染料与纤维的结合。

品名: 四甲基氢氧化铵
用途: 暂无数据
别名 氧化四甲铵;氢氧化四甲基胺